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measurement method of interstitial oxygen content in silicon wafer by infrared a 以p偏布儒斯特角入射,靠红外光吸收光谱学之硅晶圆晶格间隙氧气浓度测试法 | measurement method of interstitial oxygen content in silicon wafer by infrared a 以P偏光布儒斯特角入射,靠红外光吸收光谱学之硅晶圆晶格间隙氧气浓度测试法 | measurement method of interstitial oxygen content in silicon wafer by infrared a 以P偏光布儒斯特角入射,靠红外光吸收光谱学之硅晶圆晶格间隙氧气浓度测试法 |
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multiple interference effect 多重干涉效应 | multiple nozzle 多喷嘴(配料机) | multiple parallel plate electrode plasma enhanced CVD system 多平行电极等离子体增强型CVD系统 |
multiple tilt angle implantation 多倾斜角植入 | multiplex test function 多任务测试功能,多路复用测试功能 | multiplexer 选通器,选择器 |
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